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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：MUM系列，MEMS用曝光裝置，日本曝光裝置，DNK大日本科研DSLY0505

  • 產(chǎn)品型號：MUM系列
  • 產(chǎn)品廠商：日本DNK大日本科研
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
MUM系列，MEMS用曝光裝置，日本曝光裝置，DNK大日本科研DSLY0505 MUM系列，MEMS用曝光裝置，日本曝光裝置，DNK大日本科研DSLY0505 MUM系列，MEMS用曝光裝置，日本曝光裝置，DNK大日本科研DSLY0505
詳情介紹：
MUM系列，MEMS用曝光裝置，日本曝光裝置，DNK大日本科研DSLY0505
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在曝光過程中，通過移動掩膜來控制光刻膠表面的曝光能量分布。能夠制作有任意曲面及傾斜的三維微細構造體。

特點：

采用獨自的鏡面?鏡頭光學系統(tǒng),實現(xiàn)**均勻的照射。
配備有可設定非接觸?面內(nèi)均一間隙的間隙傳感器和對應多層曝光的顯微鏡、X?Y?θ軸對位臺的對位系統(tǒng)。
采用Moving UV mask法(使用Piezo Positioning Stage,使掩膜在曝光中微細移動)能夠控制厚膜光刻膠的側(cè)壁傾斜角度,形成三維微細構造體。

主要規(guī)格

  MUM系列
掩膜尺寸 Max 9" x 9" x t3.0 mm
基板尺寸 Max Φ8"(Wafer)
光源 超高壓水銀燈 ：500W or 1kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W2120 x D1305 x H1850 mm
本體重量 640kg

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽




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